半導体装置部品
特殊金属の多くは難切削なことが特徴です。機械加工、プレス、エッチングによる最適な加工を行い、ご要望にお応えします。取扱特殊金属、精密加工につきまして、資料ご請求、お見積りご依頼、また、お客様先にて詳細ご説明等、何かご要望がございます際はお気軽にお問い合わせください。
適正Oring、シール材の選択
プロセス毎に最適Oringを選択する場合は下記から選択してください。
半導体製造装置向け
【エッチング・CVD・PVD・アッシング・CMP・ウェット洗浄・サーマル】
液晶製造装置向け
材質より選択する場合は下記から選択してください。

Perlast G67P
高純度半導体製造用
半透明パーフロロエラストマー
(FFKM)
-15℃ to +275℃

Perlast G74P
高純度半導体製造用
半透明パーフロロエラストマー
(FFKM)
-15℃ to +275℃

Perlast G100XT
高純度半導体製造用
強化型パーフロロエラストマー
(FFKM)
-15℃ to +275℃

Perlast G75H
高純度半導体製造用
高温用パーフロロエラストマー
(FFKM)
-15℃ to +320℃

Kimura K13X
耐プラズマ製半導体製造用
新素材エラストマー

Perlast G75S
食品、薬品用
-15℃ to +310℃

Perlast G75M
汎用パーフロロエラストマー
-15℃ to +260℃

Perlast G75B
半導体製造、他汎用
黒パーフロロエラストマー