半導体装置部品
適正Oring、シール材の選択
プロセス毎に最適Oringを選択する場合は下記から選択してください。
半導体製造装置向け
【エッチング・CVD・PVD・アッシング・CMP・ウェット洗浄・サーマル】
液晶製造装置向け
材質より選択する場合は下記から選択してください。
Perlast G67P
高純度半導体製造用
半透明パーフロロエラストマー
（FFKM）
-15℃ to +275℃
Perlast G74P
高純度半導体製造用
半透明パーフロロエラストマー
（FFKM）
-15℃ to +275℃
Perlast G100XT
高純度半導体製造用
強化型パーフロロエラストマー
（FFKM）
-15℃ to +275℃
Perlast G75H
高純度半導体製造用
高温用パーフロロエラストマー
（FFKM）
-15℃ to +320℃
Kimura K13X
耐プラズマ製半導体製造用
新素材エラストマー
Perlast G75S
食品、薬品用
-15℃ to +310℃
Perlast G75M
汎用パーフロロエラストマー
-15℃ to +260℃
Perlast G75B
半導体製造、他汎用
黒パーフロロエラストマー